文章摘要:设计并制备了一种基于还原氧化石墨烯(RGO)材料的电阻式湿度传感器,该湿度传感器的关键部分采用叉指电极结构,它是利用沉积、光刻、溅射和剥离等微电子机械系统(MEMS)工艺制备而成,湿敏材料是由一定比例的RGO粉末和分散剂经过超声波分散配置成均匀分散的水溶液,叉指电极与湿敏材料通过滴涂方法有效结合,并进行了相关的测试。结果显示,在环境湿度为38.4%RH～97.7%RH时,湿度变化量与电阻变化量的线性相关度高达0.972 79,传感器的灵敏度约为0.457 91Ω/%RH。在环境湿度为38.4%RH～55.1%RH时,传感器的响应时间为9 s、恢复时间为12 s,经过多次测试,具有良好的稳定性与重复性。

文章关键词:还原氧化石墨烯(RGO),微电子机械系统(MEMS),电阻式湿度传感器,叉指电极,湿敏材料,

项目基金:山西省自然科学基金资助项目(201801D221203),

论文作者:雷程¹ 张君娜¹ 刘瑞芳¹ 梁庭¹ 赵珠杰¹ 齐蕾² 

作者单位:2. 北方自动控制技术研究所 

论文分类号: TQ127.11;TP212

相似文献:纺织基底无芯片RFID湿度传感器.....作者:路嘉林,薛严冰,鞠艳杰,陈宝君,刊载期刊：《微波学报》
醋酸纤维素/氯化钴比色湿度传感器研究.....作者:孙倩,阚燕,秦晓雨,晋阳,李晓强,高德康,刊载期刊：《丝绸》
基于氯化钴改性的纤维素纸比色湿度传感器.....作者:阚燕,孙倩,李晓强,高德康,刊载期刊：《化工进展》
采用羟乙基纤维素膜的光纤相对湿度传感器.....作者:李金泽,张建奇,孙浩,刊载期刊：《西安电子科技大学学报》
Cd/ZnO的制备及湿敏性能研究.....作者:于淑国,张红燕,张军,刊载期刊：《新疆大学学报(自然科学版)》
基于光学游标效应增敏的光纤湿度传感器.....作者:汤亚琦,董新永,刊载期刊：《光通信技术》
石墨烯量子点法布里珀罗光纤湿度传感器.....作者:王宁,田文昊,张昊生,于晓丹,尹晓蕾,杜永刚,刊载期刊：《光子学报》
高灵敏度湿度传感器在植物水分生理测定中的应用.....作者:康云鹏,张萍,胡德昌,朱建军,刊载期刊：《生态学杂志》
细芯长周期光纤光栅构成的湿度传感器.....作者:陶武强,王媛,江超,王解,孙四梅,刘昌宁,刊载期刊：《激光杂志》
光纤-明胶法布里-珀罗干涉湿度传感器.....作者:钟禹宋,董新永,徐鹏柏,杨军,刊载期刊：《光子学报》

相关文章:人工智能在智能制造中的应用.....作者:杨磊
大数据人工智能驱动图书馆知识服务和学科建设.....作者:姜爱蓉
商业航天背景下的遥感应用产业化.....作者:刘东升
Artificial Intelligence: Where Maybe Next Steps? “人工智能热”之后的冷静思考.....作者:Tony Qiu
Computational Analysis of the Voynich Manuscript 十五世纪伏尼契码的智能解析.....作者:Greg Kondrak
深度强化学习系列课程第四讲.....作者:汪荣贵
北京二号遥感卫星星座及其应用服务.....作者:屈鸿钧
第一讲：人工智能时代的刑事责任演变： 过去·现在·将来.....作者:刘宪权

文章来源：《材料研究学报》 网址: http://www.clyjxbzz.cn/qikandaodu/2021/0827/1664.html